
EDS12能谱标样
S1000系列扫描电镜放大倍率标样的主要特点可归纳为多功能、高精度、可溯源,是一个设计精密、用途广泛的标准工具:
· 核心功能:双向校准与畸变检验:可同时校准X、Y两个垂直方向的放大倍率,无需旋转样品。校准范围覆盖10倍至10万倍(100,000×),并可用于校验图像畸变和像散。
· 精密设计:适配宽量程:基底为单晶硅或石英玻璃,图形呈“回”字形。含40μm、20μm、10μm方格网状及5μm、1μm/0.5μm线条,并设计有十字形和圆点用于辅助聚焦和像散调整。还有S1000nm型号,增加500nm、200nm、100nm线条以校准更高倍率。
· 高精度与可溯源性:由德国联邦物理研究所(PTB) 认证,测量结果可直接溯源至国际单位制“米”。
· 稳定可靠:表面镀有120nm厚的金(Au)膜及纯钛层,导电性好、图像对比度高,且性质稳定,可长期保存和重复使用。
此外,它还可用于样品台倾斜/旋转功能检验、电子束漂移
参考标准:
GB/T 27788“微束分析-扫描电镜-图像放大倍率校准导则” (也适用于电子探针)
GB/T 16594 “微米级长度的扫描电镜测量方法通则” (也适用于电子探针)
GB/T 20307 “纳米级长度的扫描电镜测量方法通则” (也适用于电子探针)
S1000标样采用最新型包装,可悬浮于弹性膜盒的两层高弹性的膜中,使其在运输、保存等过程中免受损坏,并可使您对标样的美观性一目了然,只需打开盒盖即可取出标样。
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