EDS12能谱标样

扫描电镜（包括电子探针）的几个必检性能项目和所用标样

主要检验项目 检定用标样 标样号
.1 二次电子图像分辨力 Au-C纳米标样 17
2 放大倍数示值误差 S1000 11/12
3 放大倍数重复性、图像畸变等 S1000 11/12
4 X射线能谱Mn Ka谱线分辨力 Mn或锰氧化物标样 13
EDS12已包括这些标样
5 X射线能谱F Ka和C Ka谱线分辨力 聚四氟乙烯或氟化钙、金刚石等
6 X射线能谱仪元素分析范围的测定 BN 标样及超轻标样
7 无标样定量1 多元素合金标样，如不锈钢类合金等
8 无标样定量2 多元素矿物标样，如橄榄石
9 电子背散射衍射 Si单晶、Ge单晶和Ni单晶 14
10 背散射电子图像分辨力 CuPbZn合金 15
11 X射线能谱定量分析
各个元素对应的成分标准样品 ：金属，氧化物，硅酸盐，稀土，合金，材料等。